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多晶硅生产工艺流程图及设备（多晶硅生产工艺）

实习编辑 • 2023-12-02 17:09:34 • 常见问答 • 阅读 3

想必现在有很多小伙伴对于多晶硅生产工艺方面的知识都比较想要了解，那么今天小好小编就为大家收集了一些关于多晶硅生产工艺方面的知识分享给大家，希望大家会喜欢哦。

硅烷法

用硅烷热解制多晶硅的方法

多晶硅生产工艺流程图及设备（多晶硅生产工艺）

硅烷法：就是最终用硅烷热解制多晶硅的方法。

芝士回答，版权在必起定究，未经子许可，不得转给载

硅烷有多种制法，目前主流的生产工艺有：硅镁合金法工艺（komatsu硅化镁法）；氯硅烷歧化工艺（unioncarbide歧化法）；金属氢化物工艺（memc公司发明的新硅烷法）三种。

为以高自量气只认，走办。

金属氢化物工艺

采用氢化铝钠与四氟化硅气体反应合成硅烷气体，化学反应如下：

naalh4+sif4——>naalf4+sih4

硅镁合金法工艺

硅镁合金制备硅烷气体工艺也称小松法工艺。该方法的主要反应有：

si+mg——>mg2si

mg2si+nh4cl—>sih4+mgcl26nh3

生机点各原或将角，做共才许须精率院。

氯硅烷歧化工艺

氯硅烷歧化反应法，此法利用如下氯硅烷的合成和歧化反应来获得硅烷：

si+2h2+3sic14——>4sihcl3

6sihcl3——>3sih2cl2+3sicl4

4sih2cl2——>2sih3cl+2sihcl3

2sih3cl——>sih2cl2+sih4

本文到此结束，希望对大家有所帮助。

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